技转工场

Nano-g级高精度MEMS加速度传感器及仪器

本成果包括两个部分，分别为成熟度较高且经过应用验证的 Nano-g级电容式MEMS加速度传感器及仪器，以及较为前沿的基于量子增强效应的Nano-g级光学微加速度传感器。 前者采用硅基微纳加工工艺，可实现批量的电容式高精度 MEMS加速度传感器芯片，目前该项成果的相关技术指标属于在国际上并跑状态，并已经成果搭载长征五号B

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技术成熟度

成熟度待评估

所在地

武汉