技转工场

多晶硅制备前沿技术

①我国的多晶硅、有机硅、硅烷与氯硅烷等硅基材料早期对外依存度高，仅能获取国外淘汰技术装备，产品纯度低难以满足高标准需求。②多晶硅的改良西门子工艺中，氯硅烷提纯虽纯度变化微小但要求杂质含量降幅极大，导致精馏分离环节能耗居高不下。③高纯硅烷是制备颗粒状多晶硅的主要原料，其超大规模的量产正推动传统西门子制备多晶硅路线的更新换

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技术成熟度: 成熟度待评估
所在地: 天津