技转工场

基于光学与电子成像技术的通用核心模块与泛工业量测技术装备

本项目创新性地将具有完全自主知识产权的 “振幅 - 相位 - 偏振 - 频率四元调制” 成像技术与高速位移、一体化采样测量技术相结合，提出了新的工业测量和半导体量测解决方案并开发对应的原理样机，实现多类工业产品的高速、高精度几何物理量、光学物理量测量。本项目发展了混合二元光栅集成干涉方案，并通过自主研发的高精度

平台整理

技术成熟度: 成熟度待评估
所在地: 武汉