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切片先锋-半导体芯片衬底切割国产解决方案

激光干涉仪是制造业的 “眼睛”，是国家长度计量的标准器，是高端装备制造业的核心部件,长期被美、英等国垄断，制约了我国高端装备制造的自主化。团队继承国内首台激光干涉仪研制基础上，开拓创新，攻克高精度稳频技术，百秒内已达10-10量级，长期稳频精度0.02ppm,在高速采集、高动态同步触发等定制化应用方面，优于进口设备。已

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技术成熟度: 成熟度待评估
所在地: 西安