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中国科学院物理研究所激光冷壁CVD系统采购项目公开招标公告

激光冷壁CVD系统，主要用于先进阿秒激光设施中超快时间分辨光电子显微镜测量终端的低维量子材料及薄膜样品制备，实现激光加热、前驱体可控供给及沉积生长工艺调控，并与终端真空互联系统衔接，满足样品真空转移、原位/准原位表征及多设备集成需求 合同履行期限：交货期：合同生效后12个月内

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需求类型

采购

预算

50–200 万

申请截止

2026-11-25

适用地区

北京

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