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某实验室低气压等离子体增强化学气相沉积系统公开招标公告

拟采购1套低气压等离子体增强化学气相沉积系统，包含传输平台、高温热氧与氮化硅炉管工艺腔室。具体详见采购需求。 拟采购1套低气压等离子体增强化学气相沉积系统，包含传输平台、高温热氧与氮化硅炉管工艺腔室

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需求类型

采购

预算

1000 万以上

申请截止

2026-11-26

适用地区

合肥

信息由平台整理自公开渠道，以官方公告为准。