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中国科学院兰州化学物理研究所等离子体扩渗与沉积复合表面处理系统公开招标公告

等离子体扩渗与沉积复合表面处理系统包含高能离子氮化、电弧离子镀、磁控溅射和等离子体增强化学气相沉积多种模块，可实现金属表面原位扩渗和薄膜沉积一体化复合工艺过程，可用于研制新一代具有强结合、高耐磨、低摩擦、耐高温和耐腐蚀等性能的润滑耐磨防护薄膜。

需求背景

采购方：中国科学院兰州化学物理研究所

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