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山西大学光电器件薄膜制备工艺平台采购项目竞争性谈判公告

拟采购的等离子型原子层沉积系统（Box in Box 型），是光电器件高质量纳米薄膜制备的核心工艺设备，可为光电器件的超薄薄膜沉积、界面态调控与成膜机理研究提供关键工艺支撑。 拟采购的等离子型原子层沉积系统（Box in Box 型），是光电器件高质量纳米薄膜制备的核心工艺设备，可为光电器件的超薄薄膜沉积、界面态调控与成膜机理研究提供关键工艺支撑 拟采购的甩干机，是薄膜沉积前基片清洗与干燥处理的关键配套设备，可实现晶片清洗后的离心甩干与表面洁净度控制，有效避免水渍、颗粒残留对后续成膜质量的影响，满足原子层沉积前的基片预处理需求

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需求类型

采购

预算

200–1000 万

申请截止

2026-11-11

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